標題: 氮化鎵晶圓接合及配合雷射移除藍寶石基板
GaN Wafer Bonding and Laser Lift-Off the Sapphire Substrate
作者: 吳耀銓
YEWCHUNG SERMONWU
國立交通大學材料科學與工程學系
關鍵字: 晶圓接合;藍寶石基板;氮化鎵;雷射消融;Wafer bonding;Saphhire substrate;Gallium nitride;Laser ablation
公開日期: 2001
官方說明文件#: NSC90-2216-E009-037
URI: http://hdl.handle.net/11536/96841
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=673281&docId=128270
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