標題: 超薄閘極氧化層元件可靠性研究
Ultra-Thin Gate Dielectric CMOS Device Reliability
作者: 汪大暉
WANG TAHUI
國立交通大學電子工程學系
關鍵字: 超薄閘極;可靠度;氧化層;協助金屬-氧化物-半導體元件;Ultra-thin gate;Reliability;Oxide layer;CMOS device
公開日期: 2001
官方說明文件#: NSC90-2215-E009-069
URI: http://hdl.handle.net/11536/96741
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665707&docId=126375
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