標題: 壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II)
Processing of Microactuator Decice Using Piezoelectric Thin Films (II)
作者: 陳三元
CHEN SAN-YUAN
交通大學材料科學與工程研究所
關鍵字: 溼式化學沈積法;多層式電極;壓電薄膜;致動元件;接合;鈦鋯酸鉛;Wet-chemical deposition;Multilayer electrode;Piezoelectric thin film;Actuator;Bonding;Lead zirconate titanate (PZT)
公開日期: 1999
官方說明文件#: NSC88-2218-E009-011
URI: http://hdl.handle.net/11536/94369
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=443882&docId=80367
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