標題: 電子束石版術中蒙地卡羅模擬程式之發展
Development of Monte Carlo Simulation Program in Electron Beam Lithography
作者: 郭雙發
國立交通大學電子工程學系
公開日期: 2000
官方說明文件#: NSC89-2215-E009-096
URI: http://hdl.handle.net/11536/93870
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583860&docId=109699
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