標題: 300 mm 多腔製程設備之自動建模及最佳排程
Automatic Modeling and Optimal Scheduling of Cluster Tool for 300mm Wafers
作者: 李安謙
LEE AN-CHEN
國立交通大學機械工程學系
關鍵字: 自動建模;排程;晶圓製程;生產管制;Automatic modeling;Scheduling;Wafer process;Production control
公開日期: 2001
官方說明文件#: NSC90-2212-E009-066
URI: http://hdl.handle.net/11536/93683
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=645542&docId=121289
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