標題: 精密超薄型薄膜製程之開發
A Development of the Precise Ultra Thin Membrane Process
作者: 黃宇中
HUANG YU-CHUNG
交通大學電子工程系
關鍵字: 薄膜製程;積體電路設計;Thin membrane process;Integrated circuit design
公開日期: 2001
官方說明文件#: NSC90-2218-E009-023
URI: http://hdl.handle.net/11536/93506
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=674301&docId=128528
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