標題: 低溫快速金屬誘發非晶矽結晶化製作複晶矽薄膜電晶體
Fabricarion of Poly-Si TFT by Low Temperature and Rapid Metal Induced Crystallization of Amorphous Si
作者: 馮明憲
交通大學材料科學與工程研究所
公開日期: 2002
官方說明文件#: NSC91-2215-E009-046
URI: http://hdl.handle.net/11536/93070
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=784410&docId=150772
Appears in Collections:Research Plans


Files in This Item:

  1. 912215E009046.pdf