標題: 低溫電漿蝕刻製程與電漿診斷技術之開發研究---子計畫三:蝕刻製程橢圓儀線上即時量測系統之研製(I)
Ellipsometry and Its in Situ/Real Time Monitoring on Plasma Etching Process(I)
作者: 趙于飛
國立交通大學光電工程研究所
公開日期: 2003
官方說明文件#: NSC92-2623-7009-001-NU
URI: http://hdl.handle.net/11536/92038
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=801133&docId=153297
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