標題: 靜電式微機電振動---電能轉換器(I)
MEMS-Based Electrostatic Vibration-to-Electric Energy Converter(I)
作者: 邱一
Chiu Yi
交通大學電機與控制工程系
關鍵字: 功率微機電系統;能量轉換;震動;靜電式;永續操作;智慧型微感測系統
公開日期: 2004
摘要: 當微系統或微感測器的技術越來越成熟時,各種利用微感測器或微傳感器所形成的智慧 型網路系統或可攜式應用也慢慢的被提出來,例如RFID 以及無線感測節點系統(wireless sensor node)等。在這些應用上,每一個標記或結點模組中都有完整的電路或微型的獨立 電源。除此之外,如手機等各種可攜式3C 產品,或是個人的醫療輔助或監測系統,也都 需要獨立、可靠及壽命長的電源供應。可攜式產品或系統的電源除了由電池來供應外, 目前許多的功率微機電系統(power MEMS)正嘗試以微機電的技術,將各種化學能或動 能轉換成電能,以做為系統中的整合型微型電源供應。就微機電系統而言,其中的機械 結構部份的運動恰好可以和自然界中的各種振動相互耦合,再加上適當的轉換機制,就 可以做出使用震動能量的動能-電能轉換器。因此,本計畫將利用靜電式的微機電能量轉 換器,針對人體的動作以及自然界120 Hz, 2.5 m/s2 的振動,在3.3 V 輔助電源的條件下, 於1 cm2 的晶片面積上設計出一淨輸出為100 μW 的電源供應器。這個電源供應器可以和 系統中其他的電源管理電路、信號處理電路及感測器電路整合,而形成一永續操作智慧 型微感測系統。
官方說明文件#: NSC93-2215-E009-066
URI: http://hdl.handle.net/11536/91570
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1026807&docId=195213
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