標題: 橢圓偏光儀之應用(I)
The Application of Ellipsometry (I)
作者: 趙于飛
交通大學光電工程研究所
公開日期: 2004
摘要: 橢圓偏光儀已廣為使用在各式薄膜量測上,尤以半導體製成工業,橢圓偏光儀已 成標準配備; 二維橢圓偏光儀最近也已發展成熟,並且應用在生物科技及有結 構式半導體薄膜。 經過過去數年在橢圓偏光儀的研究,我們已經可以在線上校 正各光學元件的偏光角,最近並能在線上校正光彈調製器的相位振幅。 一光彈 調製式的橢圓偏光儀已經發展成熟,如清華工科所的蝕刻系統之線上即時橢圓偏 光儀,接下來就是研究其應用在材料上的量測- 液晶及高分子薄膜。 本實驗室 最近也已克服轉動式橢圓偏光儀入射角偏差的問題,而完成一簡式二維橢圓偏光 儀,並量得一光感異相高分子材料的二維薄膜分佈。藉此兩系統的完成我們已可 量測動態及平面分佈希望能監控各式材料的製成並改善其製程。 目前有興趣的 材料為液晶及高分子薄膜,希望延續研究現在發現的問題:液晶的橢圓偏光特性 及高分子的光感異相性。
官方說明文件#: NSC93-2215-E009-056
URI: http://hdl.handle.net/11536/91258
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1026768&docId=195204
顯示於類別:研究計畫