標題: 多腔式半導體製程設備之物件導向即時模擬控制系統
Object-Oriented Real-time Control System Simulator for Cluster Tools Semiconductor Equipment
作者: 陳傑
交通大學機械工程系
關鍵字: 半導體製程設備;多腔式製程設備;物件導向模型;物件導向設計;即時軟體硬體迴路模擬;Semiconductor manufacturing equipment;Cluster tool;Object oriented modeling;Object oriented design;Real time software;Hardware in the loop simulation
公開日期: 2000
官方說明文件#: NSC89-2212-E009-046
URI: http://hdl.handle.net/11536/91230
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=501416&docId=90421
顯示於類別:研究計畫


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