標題: 高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(III)
The Development of High-Speed Magnetic-Bearing Suspended Turbo Molecular Pump(III)
作者: 李安謙
LEE AN-CHEN
交通大學機械工程系
公開日期: 2004
官方說明文件#: NSC93-2212-E009-002
URI: http://hdl.handle.net/11536/91227
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=984798&docId=183784
顯示於類別:研究計畫