標題: ALD 在 Damascene 銅製程應用之研究(II)
The Application of ALD on Damascene Cu Metallization(II)
作者: 陳智
Chen Chih
交通大學材料科學與工程系
公開日期: 2004
官方說明文件#: NSC93-2623-7009-003
URI: http://hdl.handle.net/11536/90888
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=911995&docId=172348
顯示於類別:研究計畫


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