標題: 應用於無線感測網路之超低耗能無線微感測模組的設計與製作-子計畫一:靜電式微機電振動-電能轉換器(II)
MEMS-Based Electrostatic Vibration-To-Electric Energy Converter (II)
作者: 邱一
Chiu Yi
交通大學電機與控制工程系
關鍵字: 功率微機電系統;能量轉換;振動;靜電式;智慧型微感測系統
公開日期: 2005
摘要: 目前許多的功率微機電系統(power MEMS)正嘗試以微機電的技術,將 各種化學能,動能,或環境中的雜傘能量轉換成電能,以做為微系統中的 整合型微型電源供應。這種微型電源供應器將可應用在可攜式3C 產品, 個人醫療輔助或監測系統,以及其他分散式的感測網路中。本計畫將延續 93 年度之國科會專題計畫,利用靜電式的微機電能量轉換器,針對人體的 動作以及自然界120 Hz, 2.5 m/s2 的振動,在3.3 V 輔助電源的條件下,於1 cm2 的晶片面積上設計出一淨輸出為100 μW 的電源供應器。計畫進行至 今,我們已建立起完整的設計及模擬環境,透過理論分析及數值模擬,找 出最佳的設計參數。在目前的設計中,能量輸出已達40μm/cm2,超越現有 文獻中的數值。目前正在進行佈局及製程參數測試,預計94 年初即可進行 元件製作。除了目前的充電式架構外,我們亦將發展利用駐極體材料中的 永久電荷來產生感應電流,使得系統更具獨立性。靜電式微型電源供應器 未來可和熱電式及光電式電能產生器結合,並搭配系統中其他的電源管理 電路、信號處理電路及感測器電路等,形成一永續操作智慧型微感測模組。
官方說明文件#: NSC94-2215-E009-057
URI: http://hdl.handle.net/11536/90805
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1143980&docId=219403
顯示於類別:研究計畫


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