標題: 應用於無線感測網路之超低耗能無線微感測模組的設計與製作-子計畫三:智慧型微感測元件之研究
The Study of Smart Micro-Sensor Devices
作者: 邱俊誠
JIN-CHERN(J.C.)CHIOU
交通大學電機與控制工程系
關鍵字: 微機電技術;微感測器;加速規;光學式氣體感測器
公開日期: 2005
摘要: 本計畫為整合型計畫中的子計畫三—智慧型微感測元件之研究,負責在超低耗能 無線微型感測模組中對於微感測器的設計與製作。本計畫分三年執行以微機電技術設計 製作完成一個光學式氣體感測器或一個創新型門檻式加速規,其執行摘要分三年如下所 示: 第一年計畫摘要: 第一年的計畫中預計完成兩項工作,一方面是設計之微結構使用模擬軟體驗證,主 要針對元件(微致動器、微鏡面及相關微結構)的操作原理與優缺點,對我們的設計加 以模擬並分析並討論本身設計的可行性,並實際進行製程設計及光罩送件,嘗試光學式 氣體量測與新型加速規等個別元件之製作。第二方面則是利用現有之非微機電光學濾 波、電子與機械元件,組裝驗證所設計光學式氣體感測架構,成為微小化光學式氣體量 測之基準。 第二年計畫摘要: 在第二年中必需藉由第一年各子計畫整合而得之規格,配合模擬與驗證、設計出低 驅動電壓與低損耗功率的光學及加速規元件,並以微機電製程技術陸續完成各項元件並 對個別元件進行功能測試,利用完成後之元件逐一取代第一年中的所架設的之系統並進 行功能驗證。最後藉由與各子計畫之討論,以進行後續設計與製程修正。 第三年計畫摘要: 第三年的工作則是進行整體系統的整合工作,將完成之各項微機電感測元件、訊號 處理模組、電力系統等利用覆晶封裝的技術組裝完成智慧型微感測系統晶片,並進行 系統特性分析,如果有需要,我們可以根據微感測元件之需要進行規格與設計修正。
官方說明文件#: NSC94-2215-E009-055
URI: http://hdl.handle.net/11536/90503
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1143970&docId=219401
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