標題: 應用資料挖礦於晶圓廠機台派工及搬運派車整合策略之研究(I)
Using Data Mining for Integrated Strategy of Machine and Vehicle Dispatching in Wafer Fabrication (I)
作者: 沙永傑
SHA YUNG-JYE ( D. Y.
國立交通大學工業工程與管理學系(所)
關鍵字: 晶圓廠;派工;派車;資料挖礦;決策樹
公開日期: 2005
摘要: 本研究嘗試對過去」分別」探討的晶圓廠之機台派工及搬運派車問題,作一」整合性」的研究。 研究以兩階段實驗進行。第一階段為針對機台的加工特性及派車的限制,提出可行的派工及派車 模式,並利用實驗設計及模擬實驗,評估較佳的派工及派車組合;第二階段為根據第一階段之模擬數 據,藉資料挖礦的決策樹歸納技術,分析動態環境下的派工及派車模式,企圖發展一套合適於動態環 境的整合式機台派工與搬運派車策略(Integrated Strategy of Machine and Vehicle Dispatching;IMVD)。 本研究首先藉由文獻回顧收集並分析生產機台之加工特性,將生產機台區分為三大類:(1)瓶頸機 台—黃光機台、(2)非瓶頸/集批機台—爐管、蝕刻機台、(3)非瓶頸/非集批機台—其他機台,並針對各 類機台的特性及限制提出派工優序,包括黃光機台的光罩排程、關鍵層綁機派工;爐管及蝕刻機台的 集批及等候時限等。在搬運系統方面,由於300mm 晶圓廠的搬運系統將interbay 與intrabay 軌道直接 連接整合,因此衍生複雜的交通控制及派車問題,在考量避免機台死鎖(dead lock)的情況下,提出可 行的搬運車運作及派車模式。 然而半導體製造程序複雜,影響派工及派車的變數極多,往往無法從所收集的龐大資料中,有效 地評估出導致指派不佳或有效指派的原因。因此進一步藉由資料挖礦技術,對現存的大量資料轉換成 有用的資訊,以擷取出合適於動態環境下的整合性法則。
官方說明文件#: NSC94-2213-E009-084
URI: http://hdl.handle.net/11536/90387
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1136807&docId=217260
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