標題: CMOS玻璃蓋片視覺檢測系統與瑕疵分類方法之研究(I)
The Researches of Defect Inspeciton and Classification of the CMOS Glass Lid (I)
作者: 彭德保
PERNG DER-BAAU
國立交通大學工業工程與管理學系(所)
公開日期: 2005
摘要: 光學玻璃蓋片為CMOS 封裝時,裝置於CMOS 上方之玻璃材質,有保護CMOS 之 功用,由於光線必須穿透這層玻璃才能到達CMOS 晶片,故這片玻璃之透明度與均質 度必須非常高,才不致影響成像效果。玻璃蓋片主要會發生之瑕疵包括,刮傷、裂痕、 氣泡、可移動之灰塵、不可移動之灰塵、油酯、有機物污染與水紋…等,這些瑕疵會影 響玻璃之均質度與透光度,導致封裝後的CMOS 成像出現缺陷。 目前業界多是以人工目視對玻璃蓋片進行抽檢,受限於人眼的最小可辨識能力約 20μm,較難配合5μm 之檢測精度需求。且人工目視容易失誤且耗時過久,勢必無法滿 足市場顧客對於品質一致性的要求。本研究計畫將設計適當光源與取像機構,配合自 行開發之AOI(Automatic optical inspection)軟體演算法,架構出完整的自動視 覺檢測系統。 本計畫的目的,在發展出一套適用於CMOS 玻璃蓋片瑕疵自動視覺檢測的方法,本方 法能檢測出玻璃蓋片所可能會發生的瑕疵,以取代目前之人工目視檢測作業,改善目 前人工檢測所不足的檢測精度,並提昇檢測速度與減少誤判率,達到100%全檢之理想 目標。
官方說明文件#: NSC94-2213-E009-081
URI: http://hdl.handle.net/11536/90261
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1136798&docId=217257
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