標題: 含奈米粒子之金屬微元件的製程及機械特性研究
Fabrication and Characterization of Metal-Based Microstructures with Nano Particles
作者: 徐文祥
HSU WENSYANG
交通大學機械工程系
關鍵字: 奈米粒子;金屬式微加工;機械性質;梳狀致動器
公開日期: 2005
摘要: 透過添加奈米粒子所製作的奈米複材,由於是由兩種或兩種以上性質不同 的物質組合而成,常可以彌補單一材料的缺點,產生原來材料所不具備的 新特性。本研究群目前已成功將奈米鑽石粒子加入鎳電鍍液中製作鎳-鑽奈 米複材,並應用在電熱式微致動器,我們發現鎳-鑽石奈米複合材料相較於 純鎳金屬,在相同的位移輸出下可減少73%的輸入功率,熱膨脹係數並會 隨著鑽石奈米粒子濃度而增加,並會提高硬度及楊式係數對密度比,故除 了熱致動器外,應也適合應用在需要高頻振動之元件,本計畫即是想驗證 此一想法,並將進一步研究添加不同種類奈米粒子,在不同粒徑與不同濃 度下,對電鍍鎳-奈米複材機械特性的影響。另將製作共振式微機電元件, 包含懸臂樑及靜電式梳狀致動器,以量測所製作鎳奈米複材共振元件之共 振頻率變化,並進而希望確認鎳奈米複材所製作的元件在長時間操作下之 可靠度。
官方說明文件#: NSC94-2212-E009-016
URI: http://hdl.handle.net/11536/89976
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1129122&docId=215080
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