標題: 半導體廠自動化設備控制界面程式模組化建構之研究
The Construction of a Modularized Machine and Monitoring Emulater for a Wafer Fab
作者: 彭德保
PERNG DER-BAAU
交通大學工業工程與管理系
關鍵字: 自動化設備控制界面程式;模組化;結構化方法;Automatic equipment control interface;Modularized;Structured methodology
公開日期: 2000
官方說明文件#: NSC89-2212-E009-028
URI: http://hdl.handle.net/11536/89311
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=513735&docId=93107
Appears in Collections:Research Plans


Files in This Item:

  1. 892212E009028.pdf