標題: 化學氣相沈積擴散障礙層和鋁在極大型積體電路金屬化上應用之研究
Chemical vapor deposition of diffusion barriers and aluminum for ULSI metallization
作者: 蔡明興
孫喜眾, 李建平
電子研究所
公開日期: 1996
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT856430115
http://hdl.handle.net/11536/62550
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