標題: GROWTH-KINETICS OF SILICON THERMAL NITRIDATION
作者: WU, CY
KING, CW
LEE, MK
CHEN, CT
電控工程研究所
Institute of Electrical and Control Engineering
公開日期: 1982
URI: http://hdl.handle.net/11536/4955
ISSN: 0013-4651
期刊: JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
Volume: 129
Issue: 7
起始頁: 1559
結束頁: 1563
顯示於類別:期刊論文


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