標題: SUPERIOR CHARACTERISTICS OF NITRIDIZED THERMAL OXIDE GROWN ON POLYCRYSTALLINE SILICON
作者: CHEN, CF
WU, CY
交大名義發表
工學院
National Chiao Tung University
College of Engineering
公開日期: 13-一月-1986
URI: http://dx.doi.org/10.1063/1.97029
http://hdl.handle.net/11536/4771
ISSN: 0003-6951
DOI: 10.1063/1.97029
期刊: APPLIED PHYSICS LETTERS
Volume: 48
Issue: 2
起始頁: 165
結束頁: 167
顯示於類別:期刊論文