標題: AN ENVIRONMENT-INSENSITIVE TRILAYER STRUCTURE FOR TITANIUM SILICIDE FORMATION
作者: LIN, MZ
YU, YCS
WU, CY
電控工程研究所
Institute of Electrical and Control Engineering
公開日期: 1-十一月-1986
URI: http://hdl.handle.net/11536/4713
ISSN: 0013-4651
期刊: JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
Volume: 133
Issue: 11
起始頁: 2386
結束頁: 2389
顯示於類別:期刊論文


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