標題: A NEW LATERAL GROWTH FREE FORMATION TECHNIQUE FOR TITANIUM SILICIDE USING THE SI/W/TI TRILAYER STRUCTURE
作者: LIN, MZ
WU, CY
電子工程學系及電子研究所
Department of Electronics Engineering and Institute of Electronics
公開日期: 1-九月-1988
URI: http://hdl.handle.net/11536/4491
ISSN: 0013-4651
期刊: JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
Volume: 135
Issue: 9
起始頁: 2342
結束頁: 2347
顯示於類別:期刊論文


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