標題: COBALT SILICIDE INTERCONNECTION FROM A SI/W/CO TRILAYER STRUCTURE
作者: LIN, MZ
WU, CY
電子工程學系及電子研究所
Department of Electronics Engineering and Institute of Electronics
公開日期: 1-一月-1989
URI: http://hdl.handle.net/11536/4459
ISSN: 0013-4651
期刊: JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
Volume: 136
Issue: 1
起始頁: 258
結束頁: 262
顯示於類別:期刊論文


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  1. A1989R901500046.pdf