標題: 具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置
作者: 洪瑞華
李彥助
董俊沂
蔡錫翰
鄭力中
公開日期: 1-Apr-2019
摘要: 本發明為一種具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置,其利用一氧化物磊晶感測層設置於基板,使深紫外線(Deep Ultraviolet)感測裝置具較佳之特性, ,且進一步使深紫外線刺激氧化物磊晶感測層之光電流大幅增加,特別是針對深紫外光波段(280-200 nm)之感測效能大為提升。
官方說明文件#: H01L027/14
URI: http://hdl.handle.net/11536/151531
專利國: TWN
專利號碼: 201913979
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