標題: 微感測器
作者: 邱一
公開日期: 16-六月-2016
摘要: 本發明係揭露一種微感測器,其包含至少一固定結構、一質量塊及至少一可變電感。質量塊設置於該些固定結構之間。質量塊分別透過可變電感與該些固定結構連結。其中,當微感測器感測到待測物理量時,質量塊會因此產生位移,進而導致可變電感形變而造成可變電感之電感值產生變化,並透過測量電路根據該些可變電感之電感值變化計算待測物理量。
官方說明文件#: G01D005/20
URI: http://hdl.handle.net/11536/132281
專利國: TWN
專利號碼: 201621276
顯示於類別:專利資料


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