標題: 超大型電晶體陣列式電氣參數測試裝置
作者: 洪浩喬
公開日期: 1-五月-2016
摘要: 本發明係揭露一種超大型電晶體陣列式電氣參數測試裝置,其包含複數測試晶胞,每一測試晶胞更包含一待測場效電晶體與一控制場效電晶體,該控制場效電晶體之源極連接該待測場效電晶體之汲極或源極。每一測試晶胞依序被選擇作為待測晶胞。在待測晶胞進行量測時,在此待測晶胞中之該控制場效電晶體工作於飽和區或次臨界電壓區,使其汲極電流主要由其閘極與源極之電壓差所決定,藉由控制此待測晶胞的控制場效電晶體之閘極電壓以設定此待測晶胞的該待測場效電晶體之汲極或源極電壓,以準確量測此待測晶胞之待測場效電晶體之電氣參數。
官方說明文件#: G01R031/28
URI: http://hdl.handle.net/11536/132274
專利國: TWN
專利號碼: 201616139
顯示於類別:專利資料


文件中的檔案:

  1. 201616139.pdf