標題: 多層垂直式感測器及其製造方法、以及應用多層垂直式感測器的感測系統、感測方法
作者: 冉曉雯
孟心飛
鄭宏志
莊明諺
林洪正
鍾龍江
周家瑋
公開日期: 1-五月-2016
摘要: 一種多層垂直式感測器包含一基板;一底部電極;以及複數個可穿透電極組結構。底部電極、可穿透電極組結構依序設置於基板上,每一可穿透電極組結構包含:感測層及可穿透電極層。可穿透電極層包含複數個孔洞用以供待測氣體穿入,且一部分可穿透電極層與感測層交疊,介於兩可穿透電極層之間的感測層包含一氣體可穿透結構。利用多層可穿透電極組結構,使待測氣體能夠在各感測層之間自由移動,並與感測層發生反應,並藉由量測反應產生的電性變化達到準確感測目的。上述感測器的製造方法、應用上述感測器的感測系統、感測方法亦於此處被提出。
官方說明文件#: G01N027/12
URI: http://hdl.handle.net/11536/132273
專利國: TWN
專利號碼: 201616127
顯示於類別:專利資料


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