標題: 可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備
作者: 李承士
張翼
公開日期: 16-Sep-2005
摘要: 一種可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備,其可調式準直器係由可調式本體、第一準直元件以及第二準直元件所構成。可調式本體具有一內部空間,且其有上部、下部以及上部與下部之間的調整器,這個調整器可調整上部與下部之相對間距。第一準直元件是固設於上部之內部空間中,俾使第一準直元件隨上部移動,而第二準直元件係位於第一準直器下方並固設於下部之內部空間中,俾使第二準直元件隨上部移動。當可調式準直器應用於濺鍍設備時,能藉由調整上部與下部的相對間距來控制入射的濺鍍材料分子角度。
官方說明文件#: H01L021/363
H01L021/363
URI: http://hdl.handle.net/11536/104234
專利國: TWN
專利號碼: 200531181
Appears in Collections:Patents


Files in This Item:

  1. 200531181.pdf