標題: 監控薄膜厚度變化之方法
作者: 趙于飛
王夢偉
郭俊儀
柳克強
林滄浪
公開日期: 16-Feb-2007
摘要: 本發明係揭露一種監控薄膜厚度變化之方法,係用於一相位調變式橢圓儀。此方法包含經由相位調變式橢圓儀及一訊號擷取系統獲得一薄膜之一直流訊號、一一倍頻及一二倍頻訊號,並將前述之訊號傳遞至一電腦裝置。再經由電腦裝置之一如儀控程式之程式以換算前述之訊號得到一橢圓參數。接著,引入橢圓參數以計算薄膜之一厚度週期解,並利用一數據化之一二維厚度表示法即時監控薄膜之厚度週期解的變化。同時,透過程式呈現此方法之一監控畫面於電腦裝置之一顯示單元上。
官方說明文件#: H01L021/66
URI: http://hdl.handle.net/11536/104113
專利國: TWN
專利號碼: 200707608
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