標題: 三五族半導體元件的內連銅導線與其製造方法
作者: 李承士
張翼
張晃崇
公開日期: 1-Mar-2007
摘要: 一種三五族半導體元件的內連導線與其製造方法。此內連導線是由第一黏著層、防止銅擴散之擴散阻障層、第二黏著層以及銅導線所構成。由於在內連導線與此三五族半導體元件之間配置了第一黏著層/擴散阻障層/第二黏著層的堆疊層結構,因此改善了擴散阻障層對其他材料的黏著性不佳的問題,從而增加元件的良率。
官方說明文件#: H01L021/768
URI: http://hdl.handle.net/11536/104111
專利國: TWN
專利號碼: 200709335
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