標題: 利用溶液製程製作多層膜的方法及其溶液製膜設備
作者: 孟心飛
洪勝富
曾信榮
段啟聖
公開日期: 1-Dec-2009
摘要: 本發明揭露一種利用溶液製作有機多層膜的方法及實施之設備。此方法為加速第二層溶液中的溶劑揮發速度,如加熱,以防止第二層溶液中之溶劑向下溶解原有之有機分子膜。此設備包括含有狹縫之有機分子容器、加熱器及進氣閥。有機分子容器用以容置有機分子溶液。此有機分子容器可利用機械方法調節與基板之間距,此間距可控制形成濕膜之厚度。進氣閥設置於有機分子容器之上,以用來控制有機分子溶液通過狹縫的流出量。加熱器則設置於有機分子容器之一側,以加速溶劑揮發及薄膜形成的速度。
官方說明文件#: H01L051/56
H01L051/48
H01L051/00
URI: http://hdl.handle.net/11536/103805
專利國: TWN
專利號碼: 200950179
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