標題: 以水溶液製備金屬氧化物薄膜之方法
作者: 林偉祺
張立
公開日期: 1-六月-2010
摘要: 本發明揭露一種以水溶液製備金屬氧化物薄膜之方法,可製備包含氧化鋅、氧化鋅摻雜鎂元素、氧化鋅摻雜銦元素、氧化鋁或其他金屬氧化物之薄膜。此方法包含將可溶於水之有機金屬或無機金屬化合物溶於去離子水中以形成第一金屬鹽水溶液;加入非離子型界面活性劑並攪拌均勻以得到澄清及穩定之第二金屬鹽水溶液;將此第二金屬鹽水溶液沉積於一基板層上;以適當溫度進行預烤及退火即得到此金屬氧化物薄膜。相較於習知技術在成長金屬氧化物薄膜製程中所使用之有機溶劑、安定劑及强酸等,本發明所提供之方法可減少金屬氧化物薄膜製程中對人體及環境有害物質之使用、降低製程成本且提升產業應用價値。
官方說明文件#: H01L021/208
C01B013/14
URI: http://hdl.handle.net/11536/103741
專利國: TWN
專利號碼: 201021096
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