標題: 具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法
作者: 李威儀
陳振芳
江振豪
公開日期: 16-八月-2010
摘要: 一種具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法,包括在基板上形成複數成核層;以及於該成核層上形成非極性三族-氮化物層,其中,各該複數成核層係獨立選自下式(I)之氮化物:AxB1-xN (I) 式中,A和B係選自B、Al、Ga、IN或Tl之不相同的元素,且0≦x≦1。該複數成核層可有效減緩應力、減少晶格位差、阻擋差排延伸並降低差排密度,故可形成表面平坦且結晶品質佳之三族-氮化物層。
官方說明文件#: H01L021/318
URI: http://hdl.handle.net/11536/103705
專利國: TWN
專利號碼: 201030849
顯示於類別:專利資料


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