標題: 生化物質感測器及其製造方法
作者: 冉曉雯
蔡娟娟
孟心飛
葉雋正
戴銘志
李長紘
公開日期: 16-九月-2012
摘要: 本發明係揭露一種生化物質感測器及其製造方法,而生化物質感測器係包含一基板、一閘極、一閘極絕緣層、一主動層、一源/汲極及一生化物質感測層。其中,閘極係設於基板之一面,閘極絕緣層係設於閘極背對基板之一面,主動層係設於閘極絕緣層背對閘極之一面,源/汲極係設於主動層背對閘極絕緣層之一面,而生化物質感測層則設於主動層背對閘極絕緣層之一面,並位於源/汲極之間。
官方說明文件#: G01N033/553
URI: http://hdl.handle.net/11536/103388
專利國: TWN
專利號碼: 201237411
顯示於類別:專利資料


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