標題: 製造有機電子元件的裝置及方法
作者: 孟心飛
冉曉雯
洪勝富
楊秀原
黃國瑞
張浩文
陳俊宇
趙宇強
張宇帆
張博捷
公開日期: 1-Jan-2013
摘要: 本發明提供一種製造有機電子元件的裝置和方法,該裝置包含一基板、一塗佈裝置、一第一加熱裝置以及一第二加熱裝置,其中該第一加熱裝置加熱該基板,該塗佈裝置將該有機電子元件的一膜材塗佈於該基板上,且該第二加熱裝置係配置於與該第一加熱裝置不同的位置並加熱該膜材。
官方說明文件#: H01L051/50
H01L051/56
URI: http://hdl.handle.net/11536/103333
專利國: TWN
專利號碼: 201301596
Appears in Collections:Patents


Files in This Item:

  1. 201301596.pdf