標題: 纖鋅礦結構材料之非極性晶面
作者: 張立
何焱騰
公開日期: 16-九月-2013
摘要: 本發明係有關於一種成長纖鋅礦結構之新穎非極性()面磊晶層之方法,其包括:提供一具有鈣鈦礦(Perovskite)之單晶氧化物;選擇該單晶氧化物的一平面作為一基板;在該基板上以氣相沉積法生長一具有纖鋅礦結構半導體之非極性()面磊晶層。本發明亦提供一種以前述方法成長之非極性()晶面之磊晶層。
官方說明文件#: C30B025/02
C30B029/16
C30B029/40
H01L021/18
URI: http://hdl.handle.net/11536/103210
專利國: TWN
專利號碼: 201337050
顯示於類別:專利資料


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