標題: 一種電子顯微鏡樣品盒
作者: 陳智
杜經寧
公開日期: 11-七月-2014
摘要: 本發明係有關於一種電子顯微鏡樣品盒,包括:一第一基板、一第二基板、一或以上之光電元件、及一金屬黏著層。該第一基板具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一或以上之第一導孔,該第一導孔係貫穿第一基板。該第二基板具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽。該光電元件係設置於第一基板及第二基板間。另外,該金屬黏著層,係設置於該第一基板與該第二基板間以形成一空間,使樣品容置於其中。此外,本發明更包括一或以上之栓塞,係可密封第一導孔,使本發明之樣品盒密封並以電子顯微鏡即時觀測。
官方說明文件#: H01J037/20
URI: http://hdl.handle.net/11536/103165
專利國: TWN
專利號碼: I445038
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